仪器配有两种光源电极台,一种波长为1.07μm,适合于测量硅单晶块或棒的体寿命;另一种波长为0.904~0.905μm,适合于测量切割或研磨太阳能硅片的相对寿命,与微波反射法测量条件相近,因此测量值也较接近。
该仪器扩大了晶体少子寿命可测范围,配有波长为1.07μm的红外发光管外及0.904~0.905μm的红外激光器,使晶体(研磨面)可测电阻率为0.3Ω·cm,寿命可测为0.25μs。
高频少子寿命测试仪(测单晶用)是按照半导体设备和材料MF1535-0707及GB/T 26068的要求,采用高频光电导衰减测量方法,适用于硅、锗单晶的少数载流子寿命测量。
测量太阳电池级硅片、高阻单晶的测试要求,还可测量硅块亦可测量硅片(硅片可放在托架上测量)。
仪器配备的数字存储示波器内置软件可直接读取寿命值。
规格参数:
测量型号:N型或P型单晶或铸造多晶
测量范围:0.25μS-10ms
电阻率下限:≥0.3Ω·cm
光脉冲发生装置
重复频率:>15次/S
脉宽范围:≥10μs
红外光源波长:1.06-1.08μm
脉冲电流:5A-16A
红外光源短波长:0.904-0.905μm
脉冲电流:5A-16A
高频源
频率范围:30MHz
输出功率:>1W
放大器、检波器
频率响应:2Hz-2MHz
放大倍数:约30倍
光源电极台:测量低阻样片用;可测纵向放置的单晶、测量竖放单晶横截面的寿命。
读数方式:可选配测试软件或数字示波器读数
测试软件:具有自动保存数据及测试点衰减波形,可进行查询历史数据和导出历史数据等操作。
数字式硅晶体少子寿命测试仪/高频光电导寿命测试仪(测单晶)